VOCs對大氣質(zhì)量和人體健康的危害較大，對該類(lèi)污染物進(jìn)行有效控制具有重要意義。本文分析了電子工業(yè)廢氣VOCs排放特征，對VOCs的防治從源頭控制、清潔生產(chǎn)、末端治理、總量控制、科學(xué)管理等方面提出了建議。

1 VOCs的環(huán)境危害

VOCs是空氣中普遍存在且組成復雜的一類(lèi)有機污染物的統稱(chēng)，主要包括烷烴、烯烴和芳香烴以及各種含氧烴、鹵代烴、氮烴、硫烴、低沸點(diǎn)多環(huán)芳烴等物質(zhì)，簡(jiǎn)稱(chēng)VOCs(volatileorganiccompounds)。在美國EPA優(yōu)先控制的187種污染物中有33種屬于揮發(fā)性有機物。VOCs對大氣造成的危害主要有3個(gè)方面。(1)部分具有毒性和致癌性，危害人體健康;(2)VOCs中的碳氫化合物與氮氧化合物在紫外線(xiàn)的作用下反應生成臭氧，可導致大氣光化學(xué)煙霧事件發(fā)生，危害人類(lèi)健康和植物生長(cháng);(3)參與大氣中二次氣溶膠的形成，形成的二次氣溶膠多在細顆粒，不易沉降，能較長(cháng)時(shí)問(wèn)滯留于大氣中，對光線(xiàn)的散射力較強，從而顯著(zhù)降低大氣能見(jiàn)度。目前我國大部分城市大氣環(huán)境已呈現區域性霾污染、臭氧及酸雨等三大復合型污染特點(diǎn)，而VOCs是極重要的助推劑之一。

2 電子工業(yè)中VOCs排放特征

2.1電子行業(yè)分類(lèi)

電子產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈可分為上、中、下三個(gè)層次：上面的層次是終電子整機產(chǎn)品即電子終端產(chǎn)品，例如雷達、通信、廣播電視、計算機、視聽(tīng)等設備，它們的用戶(hù)是國民經(jīng)濟的各個(gè)領(lǐng)域和千家萬(wàn)戶(hù)的老百姓;中問(wèn)層次是成百上千種的電子基礎產(chǎn)品，包括電子元件、半導體器件、電子真空器件、光電子器件等，它們經(jīng)過(guò)組合裝配便形成了各種電子終端產(chǎn)品;下面的層次是支撐著(zhù)電子終端產(chǎn)品組裝和電子基礎產(chǎn)品生產(chǎn)的電子材料等，它們是電子基礎產(chǎn)品的基礎。因此，電子工業(yè)一般可分為電子材料，半導體器件，電子元件及印制電路板，電真空器件、平板顯示器件、光電子器件，電子終端產(chǎn)品幾個(gè)方面。

2.2電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節及污染物類(lèi)型

VOCs排放涉及涂裝行業(yè)、醫藥、石油化工行業(yè)、涂料油墨染料生產(chǎn)、家具制造業(yè)、印刷業(yè)、干洗業(yè)、電子工業(yè)、合成革與人造革等行業(yè)。典型電子工業(yè)廢氣VOCs產(chǎn)生環(huán)節及主要污染物情況見(jiàn)表1。

電子工業(yè)中的VOCs種類(lèi)常見(jiàn)的有30多種，主要來(lái)自半導體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑，去光刻膠類(lèi)化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點(diǎn)的硫類(lèi)和胺類(lèi)之有機溶劑。在日本電機、電子行業(yè)VOCs排放量排名位居*的物質(zhì)群依次是異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯。

2.3電子工業(yè)廢氣VOCs排放主要特點(diǎn)

電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一，電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類(lèi)多，組分復雜。一般來(lái)說(shuō)，廢氣排放中風(fēng)量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過(guò)程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn)。排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體等。

3 VOCs污染防控對策建議

3.1加強源頭控制

加強研究，建立原材料選材及認可數據庫，選用高性能、環(huán)保型原材料，尋找替代品，控制配方等多方面減少VOCs使用量，鼓勵VOCs排放企業(yè)積極使用環(huán)保型材料，推進(jìn)落后傳統工藝的升級換代，使用低揮發(fā)原材料，改善生產(chǎn)操作條件以減少無(wú)組織逸散，采用新工藝以減少有機溶劑用量，從源頭控制VOCs排放。如電路板采用免清洗工藝，推廣使用免清洗助焊劑等。電子終端產(chǎn)品表面涂裝噴漆生產(chǎn)作業(yè)由傳統的空氣噴漆工藝為靜電噴漆工藝取代，以二甲苯等揮發(fā)性有機物為主溶劑的油漆涂料將遂漸淘汰，使用不含有機溶劑或低含量有機溶劑涂料。表面涂裝推行粉末涂裝工藝，替代油漆涂裝工藝，粉末涂裝工藝的應用得到迅速發(fā)展。

3.2推行清潔生產(chǎn)機制

根據《清潔生產(chǎn)審核暫行辦法》的要求，進(jìn)一步推動(dòng)工業(yè)企業(yè)在生產(chǎn)、運輸、儲存、產(chǎn)品等全過(guò)程的VOCs的監管，從原材料、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品環(huán)節，推薦和鼓勵采用無(wú)毒低毒的替代性原材料，推行利用率高、可循環(huán)回收的生產(chǎn)工藝，改進(jìn)結構和成分設計減輕產(chǎn)品使用中的VOCs排放，逐步完善VOCs控制方面的清潔生產(chǎn)指標體系，國內目前沒(méi)有相應清潔生產(chǎn)指標體系的行業(yè)或技術(shù)，可根據實(shí)際情況研究制定清潔生產(chǎn)方案。

3.3強化VOCs的末端治理

對電子工業(yè)VOCs廢氣加裝末端廢氣治理設施，減少排放到大氣中的VOCs。

現在有的VOCs控制技術(shù)可以簡(jiǎn)單分為兩大類(lèi)：一類(lèi)稱(chēng)為破壞性方法，包括氧化法和生物法，氧化法又可分為直接燃燒法和催化焚燒法;另一類(lèi)稱(chēng)為回收性方法，常用的回收方法有吸收法、吸附法、濃縮法和膜分離法;正在研究開(kāi)發(fā)的方法還有等離子凈化技術(shù)和光催化氧化技術(shù)。各治理技術(shù)對比情況見(jiàn)表2。

針對電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應末端治理技術(shù)，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個(gè)裝滿(mǎn)吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進(jìn)入濃縮輪的吸附區，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理，去除效率可在98%。

對于半導體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有體，治理技術(shù)一般采用組合方式，前端通過(guò)噴淋塔淋洗，后接沸石濃縮轉輪+焚燒方法，對電子終端產(chǎn)品企業(yè)，多采用活性炭吸附，進(jìn)行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置(水簾或高密度纖維過(guò)濾)。

3.4建議實(shí)施VOCs總量控制

無(wú)組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放，并加以收集治理。同建議將“VOCs”納入總量控制指標，并制定減排時(shí)，加強環(huán)境審批與監管，提高企業(yè)違法成本，對重點(diǎn)核算細則，組織編制并監督實(shí)施污染物排放總量控制規企業(yè)進(jìn)行監督性監測，建立達標排放責任制，確保企業(yè)劃和年度削減計劃，注重重點(diǎn)減排項目建設、運行監督污染物達標排放。管理，落實(shí)相關(guān)政策措施。逐步完善VOCs控制標準體系，為VOCs總量核算、總量控制提供基礎。

3.5加強科學(xué)管理

電子工業(yè)企業(yè)應加強環(huán)境管理，對逸散性無(wú)組織排放監控，包括設備與管線(xiàn)組件泄漏、揮發(fā)性有機物液體，儲運及廢水收集、處理和儲存設施的逸散等，盡可能把無(wú)組織排放變?yōu)榧杏薪M織排放，并加以收集治理。同時(shí)，加強環(huán)境審批與監管，提高企業(yè)違法成本，對重點(diǎn)企業(yè)進(jìn)行監督性監測，家里達標排放責任制，確保企業(yè)污染物達標排放。